中國電科再簽多台大(dà)型卧式高(gāo)溫純化裝備訂單-中國電子科技集團有限公司

　　近日，電科裝備所屬山西中電科新能(néng)源技術有限公司與多家知(zhī)名企業再簽多台大(dà)型卧式高(gāo)溫純化裝備訂單，進一步鞏固在國内高(gāo)溫純化領域市場主導地位。

　　目前，國内矽基半導體和(hé)第三代半導體行業對(duì)高(gāo)純碳基材料的需求大(dà)幅增加，電科裝備瞄準該領域自(zì)主研發大(dà)型卧式高(gāo)溫純化裝備，采用(yòng)全新爐膽結構、進氣模式、真空(kōng)系統，配套核心純化工(gōng)藝包，可滿足第三代半導體行業應用(yòng)需求。

　　電科裝備積極布局碳基材料裝備領域，先後研發國内首台套軟氈連續式純化爐、國内首台套碳納米管連續純化爐、立式/卧式/感應高(gāo)溫純化爐等，并集成配套純化工(gōng)藝包，設備技術及質量均達到(dào)國内領先水(shuǐ)平。後續，電科裝備将持續深耕，大(dà)力創新，不斷推動我國碳基材料高(gāo)溫純化裝備自(zì)立自(zì)強。