起步“開(kāi)門(mén)紅(hóng)”，離子注入機跑出交付“加速度”-中國電子科技集團有限公司

　　滿載設備的運輸車整裝待發，又一台離子注入機設備駛向客戶現(xiàn)場，這(zhè)是電科裝備今年交付的第三台離子注入機。

　　過去一年，電科裝備累計(jì)新簽設備數量創下(xià)曆史新高(gāo)，同比增長近70%，在不同工(gōng)藝、不同應用(yòng)領域多點開(kāi)花(huā)并獲得重複訂單。爲了(le)滿足日益增長的訂單需求，離子注入機團隊拿出開(kāi)局即沖刺的精氣神，早謀劃早部署，早行動早落實。

　　離子注入機是集成電路芯片制造的關鍵設備，研制難度極大(dà)。爲全力攻克這(zhè)一難題，研發團隊通過成千上(shàng)萬次模拟實驗，夜以繼日的在線驗證，自(zì)主研制出中束流、大(dà)束流、高(gāo)能(néng)、特種應用(yòng)及第三代半導體等離子注入機，成功實現(xiàn)我國集成電路制造領域全系列離子注入機自(zì)主創新發展。

　　面向未來(lái)，中國電科将以黨的二十大(dà)精神爲指引，繼續瞄準國家重大(dà)戰略需求，加快(kuài)推動離子注入裝備産業化發展，爲高(gāo)水(shuǐ)平科技自(zì)立自(zì)強作(zuò)出新的更大(dà)貢獻。