勇擔使命，向着極精細世界邁進-中國電子科技集團有限公司

　　設備生産有條不紊、機台調試精益求精、技術叠代有序展開(kāi)……當下(xià)，中國電科所屬爍科中科信正同步生産調試13台離子注入機，設備制造與工(gōng)藝調試雙管齊下(xià)，生産一線熱火朝天。

　　離子注入機是芯片制造的關鍵裝備。目前，爍科中科信自(zì)主研制出中束流、大(dà)束流、高(gāo)能(néng)、特種應用(yòng)及第三代半導體等多類型離子注入機，實現(xiàn)了(le)我國芯片制造領域全系列離子注入機創新發展。2023年開(kāi)年，設備訂單總額突破2億元，行業認可度持續攀升。

　　“離子注入機具有專業性強、涉及學科多、精密化程度高(gāo)等特點，研制難度極高(gāo)。”技術人員回憶研發過程，依然動容。

　　兩萬五千多個硬件7×24小(xiǎo)時(shí)密切配合，軟件系統高(gāo)速運轉，要讓束流時(shí)刻保持在特定的高(gāo)能(néng)量，精準地注入到(dào)矽片的指定區(qū)域，不能(néng)有一絲卡頓……這(zhè)隻是高(gāo)能(néng)離子注入機工(gōng)程化的“基礎套餐”。

　　要實現(xiàn)這(zhè)些(xiē)極端嚴苛要求，需要一個關卡接一個關卡地闖。其中就有将高(gāo)能(néng)量束流均一性指标提高(gāo)0.5%。

　　千萬别小(xiǎo)看(kàn)這(zhè)0.5%的改變！它需要項目團隊不眠不休地與影響均一性的5項關鍵指标“死磕”，修改5000多次程序。每次從(cóng)實驗室出來(lái)，技術人員在無塵服的包裹下(xià)都汗流浃背，來(lái)不及擦拭，就又奔向辦公室，總結實驗數據。

　　最終，項目組如願實現(xiàn)技術指标，又接連突破高(gāo)能(néng)離子加速技術等核心技術難關，各項工(gōng)藝指标均達要求。目前，高(gāo)能(néng)離子注入機已進入産線工(gōng)藝驗證的最後階段。

　　技術突破是多方面的。高(gāo)溫注入工(gōng)藝的成功研發是另一個标志性成果。

　　爲推進研發進度，項目組紮根實驗室，将原理(lǐ)創新與局部驗證相結合，對(duì)整個溫控流程進行數十次仿真驗證，最終實現(xiàn)在高(gāo)溫時(shí)，設備仍能(néng)對(duì)晶圓均勻吸附，且能(néng)夠保障高(gāo)效穩定傳輸的目标。同時(shí)，爲了(le)保障獲取更加精準的工(gōng)藝參數，測試人員在高(gāo)溫設備旁對(duì)幾十道(dào)加熱工(gōng)藝進行上(shàng)百次測試實驗，爲快(kuài)速推算(suàn)工(gōng)藝參數提供了(le)可靠的數據支撐。

　　功夫不負有心人，事(shì)關實驗成功與否的一組關鍵參數從(cóng)開(kāi)始的偏離理(lǐ)想值，到(dào)逐漸無限接近，直至通過嚴密論證，達到(dào)高(gāo)溫注入的工(gōng)藝要求，實現(xiàn)控制精度和(hé)作(zuò)業速度的雙赢。

　　目前，技術提升在系列産品中遍地開(kāi)花(huā)，中束流設備模組交付形式已步入正軌，大(dà)束流設備已實現(xiàn)與國際先進機台對(duì)标，大(dà)幅提升産品的市場核心競争力。

　　“發展國産裝備，鑄就國芯基石。”項目組夢想不停步，繼續勇攀工(gōng)藝制程新高(gāo)度，提高(gāo)設備生産效率，帶動産業鏈發展。