中國電科實現(xiàn)國産離子注入機28納米工(gōng)藝全覆蓋-中國電子科技集團有限公司

　　編者按：近日，中國電科連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，實現(xiàn)國産離子注入機28納米工(gōng)藝制程全覆蓋重大(dà)科技成果，受到(dào)新華社、中國日報(bào)、科技日報(bào)等中央主流媒體廣泛關注報(bào)道(dào)，引起熱烈反響。

　　中國電子科技集團有限公司旗下(xià)中電科電子裝備集團有限公司（簡稱電科裝備）已實現(xiàn)國産離子注入機28納米工(gōng)藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業在成熟制程領域的産業安全。

研發人員正在調試離子注入機

　　離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能(néng)，這(zhè)些(xiē)元素以帶電離子的形式被加速至預定能(néng)量并注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這(zhè)一摻雜(zá)工(gōng)藝的芯片制造設備。

　　當前，28納米是芯片應用(yòng)領域中覆蓋面最廣的成熟制程。據介紹，電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，形成中束流、大(dà)束流、高(gāo)能(néng)及第三代半導體等全系列離子注入機産品格局，實現(xiàn)了(le)28納米工(gōng)藝制程全覆蓋，切實保障國産芯片生産制造。

　　據了(le)解，作(zuò)爲國内最早從(cóng)事(shì)離子注入設備研制及産業化的企業，電科裝備已具備從(cóng)産品設計(jì)到(dào)量産應用(yòng)的完整研制體系，産品涵蓋邏輯器件、存儲器件、功率器件、傳感器等工(gōng)藝器件，百台設備廣泛應用(yòng)于國内各大(dà)集成電路先進産線，累計(jì)流片2000萬片，有力提升我國産業鏈供應鏈韌性和(hé)安全水(shuǐ)平。